微振动及环境测量系统

微振动及环境测量系统

随着半导体、芯片制造业和高精密仪器的快速发展，其依托的制造技术需要得到有力的支撑，这就对工业环境的声、振、电、热等条件提出较高要求。

在使用电子显微镜、核磁共振、三坐标测量仪、光刻机等敏感精密设备的实验室环境中，微振动通常对于设备的使用有不利的影响。在这种情况下，精密设备需要与地板的内外运动隔离，要进行特定的施工和遵循安装指南。在这些环境中，地板振动的峰值可低至0.1nm，1μg RMS或0.8μin/s RMS，从0.4 Hz到4 kHz可以长时间连续监测。

我们提供的微振动及环境测量系统正是针对这一需求而自主研发的测试测量系统。

微振动及环境测量系统可兼顾多种物理量的测量，如微振动、电磁环境、噪声、温度、湿度。

微振动及环境测量系统具有如下特点：

•      便携式数据采集系统尺寸小，现场使用方便，长x宽x高约为130 x 90 x 30mm。

•      微振动测量，频率范围：0.1~200Hz，测量范围：0.5g峰值，灵敏度（±5%）：10V/g，精度：0.000001 g rms。

•      无线温湿度测量，无线数据传输，温度范围：-40~80℃，湿度范围：0~100%RH。

•      环境噪声测量，频率范围：3.75~20,000Hz，频响特征：自由场，动态范围：137 dB。

•      电磁场测量，精度：±0.5%，频率范围：DC~400Hz，分辨率：0.01 毫高斯。

采集分析软件的功能如下，并支持针对客户需求的定制开发：