数字MEMS麦克风（阵列）测试系统

数字MEMS麦克风（阵列）测试系统

数字MEMS（Micro Electro Mechanical System：微型机电系统）麦克风在各类消费电子设备，机动车辆和工业应用中广泛使用。MEMS麦克风的声学传感器和数模转换器集成在硅片上，只占用PCB（Printed Circuit Board：印刷电路板）上较小的空间，让麦克风可以和信号处理器直接相连。

图1 MEMS麦克风（图片来源：Knowles Electronics）

多个数字MEMS麦克风可以配置成阵列，结合阵列处理算法可以解决诸如：噪声抑制、回声抑制、去混响、单声源定位、声源数目估计、多声源定位、源分离、鸡尾酒会效应等问题，从而可将麦克风阵列应用于电话会议、多方通信、人机语音交互、高品质录音、声学监测等领域。

图2 MEMS 麦克风阵列（图片来源（从左到右）：Seeed, SELTECH, Microchip）

为保证数字MEMS麦克风（阵列）产品的稳定运行，需要在产品开发和生产阶段对MEMS麦克风（阵列）进行测试，通过测试确保麦克风的技术指标符合要求，以及更重要的，阵列中所有麦克风相互协同的性能都必须严格测试。

数字MEMS麦克风的测试通常针对其技术指标/参数展开。品质控制测试中涉及的参数和其它大多数麦克风基本类似，如灵敏度、频率响应、失真、信噪比（SNR）等。实验室环境下完整的测试内容有EIN（等效输入噪声）、PSR（电源抑制）、PSRR（电源抑制比）和动态范围等。此外，还可以通过转台测试麦克风在不同频率下的指向性。

我们为客户提供定制化的MEMS麦克风测试系统，可用于试验室环境测试，或者生产现场测试。

图3 数字MEMS麦克风（阵列）测试系统示意图

测试系统的主要功能包括：

•      麦克风单体测试：灵敏度、频率响应、失真、信噪比（SNR）、EIN（等效输入噪声）、PSR（电源抑制）、PSRR（电源抑制比）和动态范围等。

•      麦克风阵列测试：灵敏度范围、频率响应、相位响应、时延、传递函数等。